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FOUP 환경 모니터링 시스템
우리는 AIoT기술을 기반으로 고객의 가치향상을 위한 맞춤형 컨설팅과 솔루션을 제공하는 기업입니다.
내장형, 외장형 Smart FOUP
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    01
  • 내장형 Smart Foup
    FOUP 내부에 장착되어 FOUP 내 환경 모니터링을 위한 무선 Sensor 모듈 입니다.
    • FOUP 내 Wafer 슬롯에 장착
    • FOUP 내 온습도 / 가속도 Sensor 데이터 수집
    • 상위 서버로 Sensor / 로그 데이터 전송
    • 상위 서버 시간 동기, 설정 값 연동
    • 원격 F/W 업데이트 기능
    • 무선 충전 / Magnetic Reset
    • APP 을 통한 상태 모니터링
    02
  • 외장형 Smart Foup
    FOUP 외부에 장착되어 FOUP 내 환경 모니터링을 위한 무선 Sensor 모듈 입니다.
    • FOUP 외부 정착 (탈착식)
    • FOUP 내 온습도 / 가속도 Sensor 데이터 수집
    • 상위 서버로 Sensor / 로그 데이터 전송
    • 상위 서버 시간 동기, 설정 값 연동
    • 원격 F/W 업데이트 기능
    • 무선 충전 / Magnetic Reset
    • APP 을 통한 상태 모니터링