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Key Feature

FOUP 환경 모니터링 Solution의 주요 기능

FOUP 환경 모니터링을 위한 최적의 관리 서비스 주요 기능

안정적인 실시간(Real-Time) 데이터 수집
실시간으로 품질 확인이 가능한 모니터링 UI제공
이상 신호 발생 시 즉시알람

FOUP환경 모니터링 Solution

내장형 Smart Solution

Smart Foup Sensor Module을 통해 반도체 FOUP(Front Opening Unified Pod)내 고청정 공간에서의 환경 분석을 위한 Sensor Module 로써, FOUP 내부에 장착되어 FOUP 내 진동, 온도 / 습도 등 필요한 환경 데이터를 안전하게 수집할 수 있습니다.

관련제품

Semiconductor FAB
FOUP (Front Opening Universl Pod) 도어(DOOR) 를 열거나 닫으면서 웨이퍼를 반송할 수 있도록 해 주는 반도체 워이퍼 이송장비(용기)
Data Platform / Monitoring System

FOUP환경 모니터링 Solution

외장형 Smart Solution

Smart Foup Sensor Module을 통해 반도체 FOUP(Front Opening Unified Pod)내 고청정 공간에서의 환경 분석을 위한 Sensor Module 로써, FOUP 외부에 장착되어 FOUP 내 진동, 온도 / 습도 등 필요한 환경 데이터를 안전하게 수집할 수 있습니다.

관련제품

Semiconductor FAB
FOUP (Front Opening Universl Pod) 도어(DOOR) 를 열거나 닫으면서 웨이퍼를 반송할 수 있도록 해 주는 반도체 워이퍼 이송장비(용기)
Data Platform / Monitoring System

FOUP환경 모니터링 Solution

N2 Purge 품질 모니터링 Solution

N2 Purge 품질 모니터링 솔루션은 FOUP에 유입되는 N2가스의 적정 유량과 파티클 크기 및 수량 데이터를 수집하여 실시간으로 N2 Purge 품질을 확인하는 솔루션으로 유량 FOUP, 파티클 FOUP, 무선 충전 스테이션으로 구성되어 있습니다.