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FOUP 환경 모니터링 시스템
우리는 AIoT기술을 기반으로 고객의 가치향상을 위한 맞춤형 컨설팅과 솔루션을 제공하는 기업입니다.
FOUP 내의 N2 Purge 상태 모니터링을 위한 N2Q FOUP
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    01
  • N2Q 유량 FOUP
    FOUP에 유입되는 N2 Gas의 품질을 확인할 목적으로 유량 측정, FOUP 내부 압력 측정, FOUP 안착 Level 측정 결과를 수집하고 이를 서버에 전달합니다.
    • N2 유량측정, FOUP내부 압력 측정, 안착 Level X·Y축 측정
    • Sensor 값 및 배터리 충전량 외부Display
    • FOUP 내부 N2 공급 유량 측정
    • FOUP 내부 압력 측정
    • Sensor Data 및 배터리 정보 무선 전송 (WiFi망 연결)
    • 유/무선 충전 및 배터리 교체 (별도 충전 모듈 포함)
    • 배터리 충전량 확인 및 잔량 확인 가능
    02
  • N2Q 파티클 FOUP
    FOUP 에 유입되는 N2 Gas 의 품질을 확인할 목적으로 파티클 크기 별 수량 측정 FOUP에 유입되는 N2 Gas 중 Bypass되는 유량 측정, FOUP 안착 Level 측정 결과를 수집하고 이를 서버에 전달합니다.
    • N2 파티클 측정, 분기배관 유량 측정, 안착 Level X·Y축 측정
    • Sensor 값 및 배터리 충전량 외부Display
    • FOUP 내부 N2 파티클 양 측정
    • 파티클 검출 상태 표시
    • Sensor Data 및 배터리 정보 무선전송(WiFi망 연결)
    • 유/무선 충전 및 배터리 교체 (별도 충전 모듈 포함)
    • 배터리 충전량 확인 및 잔량 확인 가능
    03
  • N2Q 무선 충전 스테이션
    N2Q 무선 충전 스테이션은 유량 FOUP과 파티클 FOUP에 내장된 리튬 이온 배터리 팩을 무선으로 고속 충전 합니다.
    • N2Q유량 FOUP, N2Q 파티클 FOUP 공통 사용 가능